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“沒有設備自己動手 缺乏經驗自己摸索:中國半導體“基石”誕生記”

發布日期:2021-05-30 17:45:01 瀏覽:

照片顯示,當時601試驗所的生產現場和中國第一只硅單晶。

無論芯片供應鏈的安危如何,無論5g時代的到來,這些熱門話題都展現出了我們生活與新聞化時代的密切關系。 眾所周知,由高純度硅制成的晶片是半導體領域的基礎,是新聞化時代不可缺少的核心材料。 鮮為人知的是,20世紀50年代到60年代,中國科學家依靠自身力量成功開發了高純度硅單晶。 這不僅打破了美蘇壟斷,也奠定了中國現代電子產業的基礎。

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1957年,世界上第一個集成電路在美國問世,半導體技術很快在許多行業得到應用。 與此同時,與西方競爭的硅研究熱在中國科技界也悄然興起。 1958年9月,天津市公安局決定在馬鋼工廠設立601個試驗所(中國電氣科46所前身),開發小型變送器、步話機等。 試驗成立后,首先成立了化學精制小組,開始了由石英石制造硅的實驗研究。

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但是,如何溶解高純度的硅單晶,當時沒有什么進展。 為此,601實驗所決定成立物理純化小組。 擔任領隊的是28歲的丁守謙,他畢業于北京大學物理系電子光學專業,也是蘇聯專家謝爾曼培養的中國首批10名電子光學研究生之一。 張少華,原天津中學物理教師; 蔡載熙,28歲,從事原子核輻射相關研究; ◇靳健,26歲,從事宇宙線研究; 李性涵,原天津某電池廠長,近60歲; 雷蠡夏,北京大學物理學科畢業,熱衷理論物理的胡勇飛,天津大學物理系畢業生。 這樣,沒有一個游擊隊員專門從事半導體。 可以嗎?

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物理組裝時,只有幾間平房,不僅沒有設備,而且缺乏技術資料。 歷經千辛萬苦發現的俄語版《半導體冶金學》,使大家如珍寶。 從這點材料中,他們知道晶體硅的熔點: 1414。 不僅熔點極高,化學性質也極為活躍。 我該怎么辦?

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當時沒有設備,只有一臺用過的高壓變電設備。 李性涵提出了用高壓火花的方法,產生高頻振動,使感應石墨容器產生高溫。 經過幾個月的摸索,終于達到了指定溫度,硅粉也溶化成了硅粉,大家都很高興。 但是,后來發現,按照這種做法組成的只有碳化硅,不是半導體材料所需的硅單晶。

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全員必須重新在海外文獻中尋找理發線索。 在海上找針的結果表明,硅單晶需要用專用的硅單晶爐提拉,但硅單晶爐是什么樣子的在文獻中沒有提及。 后來,物理提煉集團聽說北京有色金屬冶金院有拉鍺單晶的設備,原理和硅單晶的制造相似。 于是技術廠長汪吉春派丁守謙去取經典。 丁守謙后來回顧說,雖然真的不看就不知道,但實物比文獻中介紹的要多得多、復雜得多。 丁守謙中途瞪大了眼睛,努力記住所有的細節。 根據他的記憶和大家的創作意見,不到半個月,拉硅單晶的自制爐就從圖紙變成了實物。

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但是,如果真的輪到實驗的話,問題就會接二連三地發生。 如果將硅加熱到1400度以上的熔點,爐壁整體會熱得燙手,但這是在鍺單晶爐(鍺的熔點為960度)中不會遇到的故障。 他們急忙給爐外殼裝上水冷套。 另外,單晶爐內也需要保護氣體。 去哪里找合適的惰性氣體? 他們必須自己制作真空系統,處理硅的氧化問題。

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硅單晶爐建成后,剩下的最大難題是掌握火候和提拉的速度。 蔡載熙、靳健、張少華等用其他材料代替硅進行了數百次實驗和演習。 一切準備就緒后,終于正式提拉硅單晶。

實驗需要使用辛苦從蘇聯購買的小籽晶。 這是唯一的小籽晶! 就是說實驗只能成功,不能失敗!

1959年9月14日晚上9點左右,實驗開始。 所有人都聚集在自制的硅單晶爐旁。 但是,好事多磨,坩堝內的硅溶液只剩下1/3的地方,電機突然故障了。 大家急忙采取了人工馬達的方法,但一次又一次過了一會兒就不行了,實驗被中斷了。

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這個半途而廢的實驗能打動所有人的心,成功嗎? 當取出只結晶了2/3的像大拇指那么大的結晶時,大家的眼睛突然明亮了起來! 我看到這個晶體有角,三個晶面閃閃發光! 這就是人們夢寐以求的硅單晶!

據鑒定,中國第一只硅單晶誕生于1959年9月15日凌晨! 不到一年,中國第一只硅單晶開發成功,為新中國十年大慶獻上厚禮!

1960年3月,國家計委、冶金部正式批準在天津建設703家工廠。 (冶金部規定硅的符號為703。 當時硅單晶提拉成功了,但還需要進一步提純。 國外科技資料表明,硅單晶純度至少要達到5個9 (即99.999% ),才能派上用場。 怎么才能精制呢? 這又是一個大難題,其難度遠遠超過提拉硅單晶本身。

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經過仔細討論,大家決定用高頻爐試試。 但是,聽起來,現在的高頻爐的頻率是幾百千赫茲,融化硅至少需要幾千千赫茲。 怎么辦? 那個好不好暫且不論,吉春立刻決定先買一輛再說。 根據無線電的基本知識,他們自己動手,對買來的高頻爐動手進行了改造。

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下一個問題是如何處理電容器。 當時不容易得到合適的電容器,還是只能自己做。 起初,他們想用玻璃制作絕緣介質,但發現不行。 之后,大家取下在實驗室吃飯的大理石桌子,把大理石桌子和銅片重疊在一起做了一個大電容器。 雖然解決了電容器的著火問題,但是高頻爐的電容器還沒有滿足要求。 于是他們使用空氣體電容器,精細調節間距,仔細打磨表面防止火花,最終滿足了技術要求。

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1960年秋,他們連續掃描硅單晶棒17次后,純度達到7個9! 國慶節11周年之際,他們再次以優異的成績向祖國獻上了厚禮。

1961年秋,國防科委和國家科委共同舉辦的全國硅材料研討會在北京召開。 萬吉爾欽帶著7個純度9個硅單晶去開會了。 聶榮臻元帥聽了這話笑著說。 “這是游擊隊打敗正規軍隊的!

中國科學院半導體專家鑒定后認為,601試驗所1960年的設備條件和產品純度,已經相當于美國1953年的水平,技術差距縮小到7-8年。 它使中國成為繼美國和蘇聯之后,世界上又能自己提拉硅單晶的國家,使中國在這個行業站在了與世界強國并肩的位置。

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